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物理失效分析PFA

PFA泛指物性故障分析,主要是将样品制备后通过SEM、FIB、TEM等手段分析,其目的就是要观察到失效的现象,推测失效原因(建立失效模型,验证失效机理),并反馈相关工程。. 常用设备:SEM、TEM、FIB

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